关于表面粗糙度的测量（显微镜）--改进版

lyric · 发表于 2008-7-24 10:07

:) $怒吼$

lyric · 发表于 2008-8-4 13:36

mx1981 · 发表于 2008-11-8 11:29

没太明白楼主到底是想做什么

如果是一个没有图形的面只想知道表面粗糙度，大概用白光干涉就行了，比较快
如果是有微小图形要测，一般都是AFM或者REM
AFM一次只能扫描很小的一个范围，最多到100 µm x 100 µm，用时也比较长，而且如果是很小很深的图形的话，由于探针的大小会对精度有影响甚至完全不能测，但测出的图片处理数据比较方便，比如看横截面之类。
REM差不多就是个高精度显微镜加照相机。

这个一般都是有什么设备就用什么吧，你们同事都用什么的啊？还是你们要买新仪器让你研究研究？

凭海临风 · 发表于 2008-11-8 21:08

这具体要看你要的测量精度了。一般那个白光干涉仪的精度是500nm，afm很高，但是相应的价格也很贵，一台要几十万欧元吧。

以后可能跟楼主同行阿，;)

Innerfire · 发表于 2008-11-9 13:55

原帖由 mx1981 于 2008-11-8 11:29 发表
没太明白楼主到底是想做什么

如果是一个没有图形的面只想知道表面粗糙度，大概用白光干涉就行了，比较快
如果是有微小图形要测，一般都是AFM或者REM
AFM一次只能扫描很小的一个范围，最多到100 µm x 100 ...

ganz genau啊... AFM测蚀刻后的侧壁角度就有问题

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